哈尔滨工业大学精密工程研究所隶属于机电工程学院，前身为成立于1963年的精加工研究室，是专门从事精密/超精密加工理论与工艺、精密/超精密装备研制、微纳米制造技术和超精密测量技术研究的专业研究所。1998年成立精密工程研究所以来，在学校、学院的大力支持下，通过国家首批211、985工程重点学科建设资助及承担多项国家级基础科研项目和大型工程项目，获得了国家第一批特聘教授岗位，获批了国防超精密机械加工技术研究应用中心、黑龙江省超精密加工与特种加工重点实验室及教育部超精密加工与测量技术创新团队、省优秀研究生导师团队等平台和称号。经过50多年的建设发展，已经建立了一支具有较高学术和教学水平的师资队伍，在人才培养和科学研究方面均取得了重要进展。

哈尔滨工业大学精密工程研究所所属二级学科为机械制造及自动化，是“211”和“985”工程哈工大重点建设学科之一。研究生培养始于1980年，1988年被批准为硕士点，1990年被批准为博士点，2003年被批准为国防重点学科，2008年成立精密与微纳制造国防紧缺学科；所属机械工程一级学科1990年被批准成立博士后流动站，1998年获一级学科博士学位授予权，2007年被评为国家级重点学科，在历次学科评估中均位居全国同类学科前列。目前，研究所拥有一支包含正高16人、副高4人、中级1人，博士后9人，共计30人的专职研究与工程队伍，博士生导师15人，10人进入我校长/准聘岗位系列，获国家级高层次人才2人次（包括海外兼职国家级人才1人），国家级高层次青年人才5人次，教育部新世纪人才2人次，全国百名博（及提名奖）2人次，上银优博3人次，目前共有120余名博士和硕士研究生在所从事超精密加工与微纳制造相关研究。名誉所长董申教授，现任所长卢礼华教授，支部书记张鹏教授，副所长郭兵教授、乔政副教授。